今天，Graphene旗艦合作伙伴AIXTRON展示了兩種系統(tǒng)，可以為消費(fèi)電子，傳感器和光子應(yīng)用中的應(yīng)用提供經(jīng)濟(jì)高效的石墨烯生產(chǎn)。

石墨烯旗艦合作伙伴愛(ài)思強(qiáng)公司推出了其兩個(gè)系統(tǒng)的結(jié)果，這兩個(gè)系統(tǒng)能夠通過(guò)化學(xué)氣相沉積(CVD)大規(guī)模生產(chǎn)石墨烯。Neutron是一種卷對(duì)卷系統(tǒng)，能夠在環(huán)境條件下在金屬箔上沉積大面積的石墨烯; CCS 2-D系統(tǒng)能夠在絕緣晶圓上進(jìn)行晶圓級(jí)石墨烯的生產(chǎn)，這一突破將加速新型石墨烯電子產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)。為了證明所生產(chǎn)石墨烯的成本效益，AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)在工業(yè)論壇上分發(fā)了樣品。

創(chuàng)新的Neutron系統(tǒng)每年可生產(chǎn)高達(dá)20,000平方米的石墨烯; 這大約是目前使用的典型反應(yīng)堆的生產(chǎn)能力的200倍。AIXTRON的項(xiàng)目經(jīng)理Alex Jouvray和Graphene Flagship生產(chǎn)工作包負(fù)責(zé)人表示，“Neutron是三年多研發(fā)成果的產(chǎn)物，其中包括在第一階段的卷對(duì)卷石墨烯生長(zhǎng)的演示。石墨烯旗艦項(xiàng)目。“

Neutron將大面積石墨烯的生產(chǎn)帶到了學(xué)術(shù)界和工廠車(chē)間。“涂有石墨烯的箔片在環(huán)境條件下進(jìn)入并離開(kāi)Neutron系統(tǒng)，”Jo??uvray解釋說(shuō)。“由于它不需要真空，因此可以很容易地將中子放置在石墨烯制造工廠內(nèi)，”他補(bǔ)充道。使用這種新技術(shù)生產(chǎn)的大面積單層石墨烯可以用于透明導(dǎo)體，可穿戴設(shè)備和涂層。“而且，這是經(jīng)濟(jì)的，”Jouvray補(bǔ)充道。“使用Neutron，我們能夠?qū)⒁黄椒矫资〤VD薄膜的成本降低兩個(gè)數(shù)量級(jí)，”他解釋說(shuō)。“這是一個(gè)改變游戲規(guī)則的人。”

多功能CCS系統(tǒng)面向半導(dǎo)體應(yīng)用。在這里，有嚴(yán)格的污染要求; 通常，石墨烯需要在金屬表面和箔上生長(zhǎng)，這些金屬表面和箔是非平坦的，在半導(dǎo)體工業(yè)中難以處理并且包含金屬污染物，在材料進(jìn)入晶圓廠之前需要進(jìn)一步的清潔步驟。在石墨烯旗艦項(xiàng)目的最初幾年，與石墨烯旗艦合作伙伴Istituto Italiano di Tecnologia(IIT)的Camilla Coletti一起，AIXTRON將石墨烯在絕緣體上的生長(zhǎng)擴(kuò)大到全晶圓規(guī)模在其CCS 2-D反應(yīng)器上，可容納2英寸至8英寸的晶圓。晶片具有低污染水平，可在生長(zhǎng)后直接滿(mǎn)足半導(dǎo)體工廠的要求。Camilla Coletti評(píng)論說(shuō)“只有石墨烯旗艦項(xiàng)目才能實(shí)現(xiàn)這一巨大進(jìn)步，該項(xiàng)目將來(lái)自學(xué)術(shù)界的頂尖科學(xué)家和來(lái)自世界領(lǐng)先設(shè)備公司的工程師聚集在一起。” 該系統(tǒng)還能夠大規(guī)模生產(chǎn)其他層狀材料，例如氮化硼或過(guò)渡金屬二硫?qū)倩铩?/p>

石墨烯旗艦創(chuàng)新主管Kari Hjelt認(rèn)為，“愛(ài)思強(qiáng)開(kāi)發(fā)的這些系統(tǒng)展示了我們?cè)谑┢炫灝a(chǎn)品的最初幾年中對(duì)原型的投資是如何產(chǎn)生能夠通過(guò)化學(xué)氣相沉積大規(guī)模生產(chǎn)石墨烯的產(chǎn)品。” 他補(bǔ)充道，“這些發(fā)現(xiàn)開(kāi)辟了除石墨烯之外的數(shù)千種可能性，其他層狀材料的晶圓的到來(lái)，甚至夾層異質(zhì)結(jié)構(gòu)都在指日可待，”Hjelt總結(jié)道。

Graphene旗艦公司科技官兼管理委員會(huì)主席Andrea C. Ferrari補(bǔ)充說(shuō)：“石墨烯旗艦的最終目標(biāo)是將石墨烯和相關(guān)的分層材料從實(shí)驗(yàn)室?guī)У焦S車(chē)間。采取這些新材料傳統(tǒng)的半導(dǎo)體工廠是實(shí)現(xiàn)其在消費(fèi)電子，光子學(xué)和傳感器中廣泛應(yīng)用的關(guān)鍵，需要能夠大面積，大速率和低成本制造石墨烯及相關(guān)材料的工業(yè)工具。“

“有了這些系統(tǒng)，”法拉利補(bǔ)充說(shuō)，“石墨烯旗艦合作伙伴AIXTRON引領(lǐng)了這些新材料開(kāi)辟新市場(chǎng)機(jī)遇的方式。制造大規(guī)模石墨烯的能力特別重要，因?yàn)槭┢炫灩緶?zhǔn)備推出第一批石墨烯鑄造廠。此外，這些產(chǎn)品是石墨烯旗艦產(chǎn)品創(chuàng)新和技術(shù)路線圖的基石，并表明我們將在前十年實(shí)現(xiàn)雄心勃勃的目標(biāo)。“